蓝宝石晶片纳米级超光滑表面加工技术研究

• 作者: 周海 姚绍峰
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 超光滑表面 抛光
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 28-31,35
• 页数: 5页
• 分类号: TH161|TN205
• 字数: 2694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2005.05.008

摘要

本文提出以蓝宝石塑性磨削和化学机械抛光为主要手段,以原子力显微镜为主要检测工具,来制备满足光电子领域要求的纳米级超光滑蓝宝石晶片的新方法.在高刚性磨床上,用W7的金刚石砂轮以f=1μm/r进给量,实现了蓝宝石晶片的浅损伤塑性域磨削.配制了以SiO2溶胶为抛光料的蓝宝石晶片专用抛光液,稳定地获得了无损伤层的RMS小于0.2 nm的超光滑蓝宝石晶片表面.GaN外延生长所需蓝宝石晶片的合理抛光参数是:SiO2的粒子直径为7 nm、浓度为3%、pH=11、压力P=200Pa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周海	盐城工学院机械工程学院	123	393	10.0	14.0