直接加热终端式MEMS微波功率传感器的设计与模拟

• 作者: 廖小平 陈宁娟
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微波功率 热偶 砷化镓
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 313-314
• 页数: 2页
• 分类号: TN377|TN405
• 字数: 1117字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.109

摘要

提出了一种基于GaAs MMIC工艺的MEMS微波功率传感器.根据热电效应设计了一个X波段热偶微波功率传感器的结构,并对其温度分布用COVENTOR系统软件进行模拟,用HFSS对反射系数进行模拟.输入功率0～50mW,灵敏度为0.3V/W.S11约为-15db.