测量薄膜折射率的几种方法

• 作者: Y.T.Chow 任诠 冯林 孙香冰 杨洪亮
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 化学
• 关键词: 薄膜光学 折射率 聚合物薄膜 椭偏法 准波导
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 13-18
• 页数: 6页
• 分类号: O646.54
• 字数: 2830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2005.01.002

摘要

准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义.系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任诠	山东大学光学系	19	94	6.0	8.0
2	冯林	山东大学光学系	4	26	3.0	4.0
3	杨洪亮	山东大学光学系	7	43	4.0	6.0
4	孙香冰	山东大学光学系	4	35	4.0	4.0
5	Y.T.Chow	香港城市大学光电子学研究中心	2	18	2.0	2.0