静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜

• 作者: 闫金良
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 自适应光学 薄膜变形镜 静电力驱动
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: O484.21
• 字数: 1750字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.01.005

摘要

提出一种大冲程静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜,理论上研究了静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜的静电驱动力和变形位移与驱动电压的关系,分析了变形反射镜的驱动稳定性,比较了平板电容驱动器与纵向梳齿驱动器的驱动能力.结果表明,变形反射镜的静电驱动力和变形位移没有关系;在相同的面积下,纵向梳齿驱动器的驱动力比平板电容驱动器的驱动力大很多.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫金良	烟台师范学院物理系	17	39	4.0	5.0