MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应

• 作者: 刘彩霞 孙东明 徐宝琨 王国东 董玮 郭文滨 陈维友
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 空气压膜阻尼效应 微机械光电系统 雷诺方程 倾斜下电极 响应时间
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 电子科学
• 页码范围: 343-347
• 页数: 5页
• 分类号: TN256|TN205
• 字数: 3140字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2005.03.019

摘要

从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动力学方程,给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐宝琨	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	37	616	8.0	24.0
2	刘彩霞	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	33	129	6.0	9.0
3	董玮	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	24	129	6.0	11.0
4	郭文滨	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	18	38	3.0	5.0
5	王国东	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	6	27	3.0	5.0
6	孙东明	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	7	30	3.0	5.0
7	陈维友	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	24	82	5.0	8.0