共光路双频外差干涉法测量模拟磁头磁盘静态间隙

• 作者: 孟永钢 岳兆阳 张蕊 殷纯永 白少先
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 外差干涉 共光路 相位测量 磁头磁盘 静态间隙
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 1664-1667
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2054字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.12.016

摘要

提出了一种共光路外差干涉测量模拟磁头磁盘静态间隙的方法,该方法以低频差横向塞曼双频激光器作为光源,采用专门设计的双折射透镜分光和相位测量技术,实现了对光波半波长的3600细分,从而使测量分辨率达到0.1 nm.原理实验结果表明,该系统在无恒温的普通实验室条件下,1 h内稳定测量实验结果漂移小于4 nm;利用压电陶瓷(PZT)微动工作台(步进分辨率1 nm)驱动反射镜(模拟磁头)产生位移,在1μm范围内与该系统测量结果进行比对,得到线性相关系数优于0.9998.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷纯永	清华大学精密仪器与机械学系	43	662	14.0	24.0
2	孟永钢	清华大学摩擦学国家重点实验室	94	907	17.0	24.0
3	张蕊	清华大学精密仪器与机械学系	4	31	3.0	4.0
4	岳兆阳	清华大学摩擦学国家重点实验室	2	13	2.0	2.0
8	白少先	清华大学摩擦学国家重点实验室	4	17	2.0	4.0