检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪

• 作者: 井文才 周革 张以谟 张红霞 李岩
• 来源期刊: 天津大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: Mirau干涉 相移干涉轮廓仪 Mirau干涉物镜 光纤连接器 压电陶瓷传感器
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与光电子工程
• 页码范围: 377-380
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 2069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0493-2137.2005.05.001

摘要

基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5 mm,视场0.64×0.48 mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875 μm,垂直方向的测量范围为5.3 μm,重复测量精度为1.7 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红霞	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	45	209	9.0	12.0
2	张以谟	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	153	1890	20.0	38.0
3	井文才	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	40	277	11.0	14.0
4	周革	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	38	190	9.0	12.0
5	李岩	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	28	201	7.0	13.0