等离子体辉光溅射反应复合渗镀合成TiN的研究

• 作者: 刘燕萍 徐晋勇 徐重 王建忠 隗晓云 高原
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 辉光放电 尖端放电 空心阴极效应 氮化钛 扩散层 沉积
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 271-274
• 页数: 4页
• 分类号: TG156.8|TG174.445
• 字数: 2171字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.04.009

摘要

本文介绍了一种新的制备TiN的工艺方法.利用辉光放电溅射现象、尖端放电和空心阴极效应,在钢铁材料表面直接复合形成TiN渗镀扩散层.用X射线衍射、辉光放电剥层成分分析仪、显微硬度仪等方法,对复合层进行分析.结果表明:本研究方法复合形成的TiN渗镀层,TiN呈溶质固溶于基体表面层中,呈梯度沿基体向内分布.该表面复合层与一般表面沉积的TiN层不同,是冶金结合扩散层,不会产生剥落现象.在1020 ℃复合形成渗镀层时,层深可达15 μm左右,并得到择优取向为(200)晶面的TiN相,渗镀TiN层的表面硬度随渗镀温度的提高而增加,渗镀TiN层随渗镀温度的升高而增厚.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重	太原理工大学表面工程研究所	161	2461	24.0	39.0
2	高原	太原理工大学表面工程研究所	64	555	13.0	19.0
3	王建忠	太原理工大学表面工程研究所	21	155	8.0	10.0
4	隗晓云	太原理工大学表面工程研究所	18	135	7.0	10.0
5	刘燕萍	太原理工大学表面工程研究所	55	298	9.0	12.0
6	徐晋勇	太原理工大学表面工程研究所	36	248	9.0	12.0