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摘要:
电子封装表面材料采用分子自组装技术制备了稀土La纳米膜,采用AFM(原子力显微镜)对组装膜的表面形貌进行表征,表征结果该稀土纳米膜表面形貌致密,表面粒子尺寸为20~30 m;场发射扫描电镜测试表明,该组装膜的成分为La;
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文献信息
篇名 稀土La自组装纳米膜的制备及表征
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 自组装纳米膜 稀土 表征
年,卷(期) 2005,(10) 所属期刊栏目 专题报道(IC前道制程)
研究方向 页码范围 39-41
页数 3页 分类号 TN304.3
字数 1525字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.10.010
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱大昌 北京交通大学机电工程学院 9 45 3.0 6.0
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研究主题发展历程
节点文献
自组装纳米膜
稀土
表征
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期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
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