基于静电键合过程模型的工艺仿真

• 作者: 刘晓为 张丹 揣荣岩 陈伟平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: CAD 静电键合 工艺仿真 工艺数据库
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 270-271
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.94
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.094

摘要

介绍了静电键合工艺仿真模型及其过程仿真,对平板电极、单点电极、多点电极的键合电流和键合进程进行了建模,采用动态工艺数据库方法完成了三种静电键合工艺下的可视化编程,实现了静电键合过程的可视化仿真与工艺CAD.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓为		42	140	7.0	10.0
2	揣荣岩		31	90	5.0	8.0
4	陈伟平		19	73	5.0	7.0
5	张丹		11	38	3.0	6.0