大气下火焰法同质外延金刚石单晶膜

• 作者: 郑周 陈仑
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 火焰法 同质外延
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 1976字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2005.02.005

摘要

气相合成金刚石膜技术的问世,使制备金刚石电子有源器件成为可能.本文将静高压法合成的大颗粒优质单晶镶嵌在纯铜板中作为基板.以乙炔和氧气为反应气体,将氧气与乙炔的体积比率R(R=O2:C2H2)控制在0.85～1.0区间.采用大气下火焰法进行了金刚石单晶膜的同质外延实验.并通过拉曼散射,扫描电镜、反射高能电子衍射对实验结果进行了检测分析,在(100)面同质外延的金刚石单晶膜上观察到了螺旋生长的现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈仑		3	12	2.0	3.0