基于偏最小二乘法回归的工序质量建模

• 作者: 史金飞 张赤斌 易红
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 偏最小二乘回归 质量模型 质量控制
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 702-705
• 页数: 4页
• 分类号: TH166
• 字数: 3582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-0505.2005.05.010

摘要

针对制造工序质量控制问题,应用多元统计分析中的偏最小二乘回归法建立了质量模型.利用该模型可以定量分析加工工序与最终成品率之间的关系,进而通过将大量的工序影响因子约简得到主要影响因子子集.根据在线生产的相关质量数据,采用非线性迭代偏最小二乘法获得影响因子的权重.得到偏最小二乘因子权重可以在线预测成品质量变化,避免离线测试.在半导体制造实例研究中,以工序质量水平为自变量,成品质量水平为因变量,建立了质量水平传递模型,应用该方法可实现多工序质量异常的在线诊断和预测,为质量控制提供了定量依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易红	东南大学机械工程系	130	2218	26.0	39.0
2	史金飞	东南大学机械工程系	122	1221	20.0	27.0
3	张赤斌	东南大学机械工程系	35	182	7.0	12.0