超精表面缺陷检测系统的实验研究

• 作者: 廖小华 李庆祥 李玉和 王东生 葛杨翔
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微探头 柔性铰链 压电双晶片 激光干涉
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 65-68
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.28
• 字数: 1701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.z1.015

摘要

电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高.为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用压电双晶片实现接触、非接触以及轻敲3种不同探测模式.系统特性实验表明:该探测系统位移分辨率可达2 nm,共振频率90 Hz,满足超精表面缺陷检测系统性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王东生	清华大学精密仪器与机械学系	34	467	12.0	20.0
2	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
3	李玉和	清华大学精密仪器与机械学系	59	1638	16.0	40.0
4	廖小华	清华大学精密仪器与机械学系	7	34	3.0	5.0
5	葛杨翔	清华大学精密仪器与机械学系	7	48	4.0	6.0