一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试

• 作者: 徐东 林仰魁 王芸 蔡炳初 钱开友 颜丙勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射,压力传感器 阳极变形膜 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 614-616
• 页数: 3页
• 分类号: TP212|TP391.9
• 字数: 1492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.03.043

摘要

提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构.计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点.对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果较为相符.