用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管

• 作者: 徐晓刚 郑川 高文秀
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微米针管 MEMS 各向异性腐蚀 凸角结构 (110)晶面
• 年，卷（期）: 2005,（13）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1161-1164
• 页数: 4页
• 分类号: TH162|TN603
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.13.009

摘要

描述了一种用(110)晶面硅片制造微米针管的新方法.利用硅晶面在各向异性腐蚀中出现的凸角结构形成针管的三维构造,针管内径约10μm,外径约90μm,长度约500μm.整个针管结构平坦,便于与微泵等其他MEMS器件相接合,用于无痛皮下注射器和生化采样等.微米针管的制作工艺相对简单,材料廉价,适合于工业化批量生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高文秀		9	35	4.0	5.0
2	郑川		2	7	2.0	2.0
3	徐晓刚		2	7	2.0	2.0