热致动硅微夹钳实验研究

• 作者: 张永宇 沈雪瑾 赵江铭 陈晓阳
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微热致动器 微夹钳 多晶硅 微机电系统
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 132-134
• 页数: 3页
• 分类号: TN305|TH112
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.044

摘要

利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7～4μm之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓阳		138	1179	18.0	25.0
2	张永宇		7	67	5.0	7.0
3	赵江铭		7	47	5.0	6.0
4	沈雪瑾		50	327	9.0	15.0