稀土金属真空提纯炉的研制

• 作者: 杨润 赵秦延
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 提纯 稀土 区熔法
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体设备制造
• 页码范围: 68-70
• 页数: 3页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 2461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.01.016

摘要

介绍了一种用于稀土金属提纯的单晶炉,根据区熔法提纯单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.该设备也适用于多种激光晶体的生长和激光晶体的真空退火.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨润		10	58	4.0	7.0
2	赵秦延		3	21	3.0	3.0