超高真空电子束蒸镀Fe/Ru多层膜的结构和磁性

• 作者: 宋成 曾飞 李晓伟 潘峰 耿魁伟 谷宇
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Fe/Ru多层膜 电子束蒸镀 磁性 死层 亚稳相
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 页码范围: 1833-1837
• 页数: 5页
• 分类号: TM278|TB43
• 字数: 2864字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2005.11.033

摘要

采用超高真空电子束蒸镀方法制备了Fe/Ru多层膜,Ru层厚度固定为2 nm,Fe层厚度为0.6～5 nm,研究了Fe层厚度的变化对薄膜结构及其磁性能的影响.Fe层厚度小于5 nm时,受Ru层HCP结构的影响,Fe层生长为六方晶格的亚稳相.多层膜呈现明显的平面易磁化特性,并随Fe厚度降低而减弱.Fe的平均原子磁矩和Fe层厚度的倒数存在线性关系,与死层理论预言的结果相一致.实验结果证实,亚稳相六方晶格的Fe具有铁磁性,其平均原子磁矩计算值为1.9μB,略低于BCC Fe,Fe/Ru界面层的死层厚度为0.25 nm.