宽光束波前测量子孔径拼接方法研究

• 作者: 付跃刚 刘智颖 张磊 李萍 王志坚
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 波前测量 子孔径拼接 大口径光学系统
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 测量、原理及方法
• 页码范围: 1085-1086
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 1056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.08.115

摘要

目前检测大口径光学系统质量一般是使用大口径干涉仪,需要加工高精度的标准表面,不仅难度大,而且制造周期长,制造成本高.因此,在ICF应用上使用子孔径拼接的方案,用小口径、高精度、高分辨率的干涉仪来复原大口径光学元件的波前相位数据.这是一项新的高精度大孔径面形检测手段.既保留了干涉测量的高精度,又免去了使用与全孔径尺寸相同的标准波面,降低了成本,并且可获得大孔径干涉仪所截去的波面高频信息,为高空间频率范围的检测评价提供了手段.文中提出一种不同于ICF应用上的一种子孔径拼接方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付跃刚		106	456	10.0	15.0
2	张磊		39	120	7.0	8.0
3	刘智颖		58	272	10.0	12.0
4	李萍		5	30	2.0	5.0
5	王志坚		27	274	11.0	15.0