静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器

• 作者: 夏善红 彭春荣 白强 罗蕾 陈贤祥 陶虎 龚超
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微型电场传感器 相关检测 差分检测 静电梳齿激励
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 171-173
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.058

摘要

研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器.利用相关检测原理对该传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105～25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53μV·m/kV.