静电力反馈微加速度计的吸合失效

• 作者: 刘云峰 董景新
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 吸合失效 稳定性 可靠性 静电力
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 649-652,657
• 页数: 5页
• 分类号: TH824+.4
• 字数: 3626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2006.05.013

摘要

静电力反馈微加速度计的敏感质量与固定结构部分因静电力作用发生吸合失效,严重影响加速度计的可靠性.为根本解决吸合问题,分析了加速度计在开环、闭环的不同工作状态下发生吸合的机理,推导出由静电力、机械刚度和止挡间隙等参数确定的3个稳定条件,用于判断吸合是否发生.实验证明了稳定条件是正确的.工程实际中,3个稳定条件可以指导此类加速度计的可靠性设计,通过选择合理的机械及电气参数,可以完全避免发生吸合失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董景新	清华大学精密仪器与机械学系	89	741	14.0	20.0
2	刘云峰	清华大学精密仪器与机械学系	51	405	12.0	16.0