TFT-LCD切割裂片工艺参数探讨

• 作者: 张方辉 李亚利
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: TFT-LCD 刀轮角度 下压量 切割压力
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 3958字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2006.01.010

摘要

研究了TFT-LCD切割裂片的原理,以及刀轮角度、切割压力、下压量等工艺参数对切割质量的影响.采用120 °和130 °两种不同角度的刀轮在切割速度300 mm/s、刀轮下压量0.14 mm的条件下进行切割,发现120 °刀轮的切割深度比130 °刀轮的要大5～10 μm ;当切割压力一定时,切割深度随下压量的增加而增加.在同样条件下,120 °刀轮在切割压力为0.18 MPa时出现横向微裂纹,130 °刀轮在0.28 MPa的切割压力下出现横向裂纹;可见刀轮角度越小,越容易出现横向裂纹.实验结果表明,压力是影响横向微裂纹产生的主要因素,而刀轮下压量对横向裂纹的产生没有太大影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张方辉	陕西科技大学电气与电子工程学院	150	773	13.0	20.0
2	李亚利	陕西科技大学材料科学与工程学院	5	49	3.0	5.0