高次谐波体声波谐振器谐振频率分布研究

• 作者: 张淑仪 张辉 王佐卿
• 来源期刊: 声学学报
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 8-13
• 页数: 6页
• 分类号: TN62
• 字数: 4267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0371-0025.2006.01.002

摘要

基于由谐振频率分布提取压电薄膜参数的方法,研究影响高次谐波体声波谐振器(HBAR)谐振频率分布的因素.对多种HBAR进行模拟计算,模拟结果显示,变化基片对薄膜的声阻抗比值会引起并联谐振频率间隔的分布和有效机电耦合系数的分布改变;当薄膜的基模在高频时,改变电极对薄膜的声阻抗比值和电极厚度会引起谐振频率分布改变.这些结果表明,通过调整影响谐振频率分布的因素能使谐振频率变化,进而得到在特定的频率上产生谐振.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辉	南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室	29	584	10.0	24.0
2	张淑仪	南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室	85	578	14.0	21.0
3	王佐卿	南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室	1	10	1.0	1.0