磁约束电感耦合等离子体增强溅射沉积Co掺杂ZnO薄膜及其光学特性

• 作者: 刘学超 宋力昕 张华伟 施尔畏 陈之战
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 Co掺杂 溅射沉积 光学特性
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 953-957
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3|O482.31
• 字数: 1995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2006.06.022

摘要

采用磁约束电感耦合等离子体增强溅射法(ICP-PVD)在Si(100)和石英玻璃衬底上沉积了Zn0.95Co0.05O薄膜.XRD谱显示薄膜具有较强的(002)衍射峰,表明Zn0.95Co0.05O薄膜为c轴择优取向生长;透过光谱显示Zn0.95Co0.05O薄膜具有良好的透过性,其在可见光和红外波段的平均透过率大于80%,吸收光谱表明Co2+取代了Zn2+处于四配位晶体场中;喇曼光谱证明Zn0.95Co0.05O薄膜具有良好的六方纤锌矿结构;室温PL谱测量发现在可见光的蓝光波段和绿光波段存在较宽的发光带,却没有发现本征的近紫外光发射,这是由于Co掺杂后引入较多的缺陷导致的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施尔畏	中国科学院上海硅酸盐研究所	71	1736	25.0	41.0
2	宋力昕	中国科学院上海硅酸盐研究所	51	585	15.0	22.0
3	陈之战	中国科学院上海硅酸盐研究所	23	556	13.0	23.0