数字PID控制在运动控制系统中的应用

• 作者: 高彬娜
• 来源期刊: 中国电子科学研究院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 运动控制 数字PID PID控制
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 工程与应用
• 页码范围: 564-567,579
• 页数: 5页
• 分类号: TN741
• 字数: 2903字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5692.2006.06.018

摘要

在半导体设备运动过程中,有效的调节数字PID控制参数可以提高设备运动的稳定性和可靠性,利用积分分离的算法来实现具有最佳组合的PID控制.