表面-微加工引论

• 作者: 吴永礼
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工技术 表面微加工 微制造工艺 设计数据 物理形状 设计工艺 设计技术 微尺度 物理学 非理想
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TH-39

摘要

本书全面论述表面一微加工技术的各个方面，把表面微加工的制造工艺、微尺度现象和设计数据与物理形状及功能联系在一起，并介绍具体元件的理论和设计。全书分为一个引言和四个部分（含6章），第1章引言。第一部分制造（含第2～3章），介绍微制造工艺和微加工技术。第二部分设计（含第4～8章），论述微尺度物理学、力学、设计工艺、非理想工艺和设计技术。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴永礼	中国科学院力学研究所	334	106	7.0	10.0