表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测

• 作者: 唐洁影 姜理利
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 微悬臂梁 失效 可靠度
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 212-214
• 页数: 3页
• 分类号: TN402
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.073

摘要

MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂可靠度预测模型.