利用计量型原子力显微镜进行两维纳米格栅的测量

• 作者: 卢明臻 崔建军 杜华 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米计量 原子力显微镜 两维格栅 栅距 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论研究和现代精密测试技术
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 4308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.z1.002

摘要

二维纳米格栅是纳米测量仪器的重要校准标准之一,也是国际计量局长度咨询委员会(BIPM/CCL)组织的五种纳米计量标准比对项目之一.计量院研制的计量型原子力显微镜在x,y,z三个方向固接有无阿贝误差布局的激光干涉仪,干涉仪的激光光源用碘稳频激光进行了校准,使得二维纳米格栅的测量结果可以直接溯源到米定义SI单位.使用高斯滤波器对测量数据进行了预处理,并研究了重心法二维格栅间距与夹角的计算方法.最后根据不确定度分析导则给出了格栅测量的不确定度评定分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	崔建军		33	122	6.0	8.0
3	杜华		33	201	8.0	12.0
4	卢明臻		3	19	3.0	3.0