磁性陶瓷靶材的制备及其应用研究

• 作者: 徐小玉
• 来源期刊: 现代职业教育研究
• 学科: 工学
• 关键词: 磁性陶瓷靶材 冷等静压 收缩率 软磁性能
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TM282

摘要

薄膜制备过程中溅射靶材的利用率很低,导致薄膜材料制备成本很高。以自制的高纯度纳米晶镍锌钴/二氧化硅复合铁氧体粉体为原料,冷等静压后高温烧结制备得到铁氧体复合靶材。用XRD、EPMA和SEM分析靶材的化学成分和微观形貌。结果表明:靶材为镍锌钴铁氧体和二氧化硅的复合材料,收缩率达14.37%,能在高真空多功能磁控溅射仪正常工作,并成功制备得到性能良好的软磁薄膜。整个制备过程工艺简单,操作方便可行,大大降低了靶材的制备成本。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐小玉		2	4	1.0	2.0