一种Sawyer马达驱动二维运动平台测量和控制系统设计

• 作者: DIAN S Y KIYONO S MAKINO K MOTITA H TANO M TOMITA Y 高伟
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 控制 定位 Sawyer马达 表面编码器 正弦格栅 传感器
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 182-189
• 页数: 8页
• 分类号: TB9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.03.003

摘要

介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统.该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器.台板由防腐钢板制成,在其表面加工了齿牙.线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上,用以驱动平台.每一驱动器均由一个永久磁铁和两个驱动线圈组成,用以产生X向和Y向的平台驱动力.设计了一种表面编码器用以测量和控制平台的运动.一个正弦格栅装在台板上,一个传感组件装在平台驱动器上.在该传感组件中有三个光学传感器,用以测量三个分离点上的X和Y方向的位置,平台的θz向位置可以从传感器输出求得.开发了一种反馈控制系统用以控制平台运动.测量和反馈控制实验证明了该精密系统的可行性.