基于LabVIEW的宽光谱膜厚监控系统的研制

• 作者: 任豪 王巧彬 罗宇强
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 宽光谱 膜厚监控 光谱特性 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TP3
• 字数: 1760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2006.05.014

摘要

介绍了一种基于LabVIEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统.阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言(LabVIEW)在此系统中的应用;监控系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜的光谱特性检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗宇强	广州市光机电工程研究开发中心广东省现代控制与光机电技术公共实验室	20	87	6.0	8.0
2	任豪	广州市光机电工程研究开发中心广东省现代控制与光机电技术公共实验室	35	185	8.0	12.0
3	王巧彬	广州市光机电工程研究开发中心广东省现代控制与光机电技术公共实验室	12	57	4.0	7.0