磁性电子元器件精加工用抛光剂性能研究

• 作者: 方向前
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁性电子元器件 超细α-Al2O3微粉 抛光剂 精加工
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: TG74|TG580.68
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2006.02.017

摘要

研制出了适合于磁性电子元器件表面平坦化加工用的抛光剂,该抛光剂磨料选用超细α-Al2O3微粉.通过对磨料化学纯度的处理、表面包裹处理、抗静电处理、分散剂等方面研究试验,对抛光剂悬浮性、酸碱性、润滑性、可擦性等方面进行检测,结果表明:该抛光剂具有高浓度、低粘度和高分散稳定性,抛光效率高,具有良好的抗静电性和可擦性.抛光剂pH=6～8,抛光效率≥1.2μm/s,工件表面粗糙度Ra≤0.04μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方向前	中原工学院电子信息学院	23	61	5.0	7.0