用于平板显示制造中的真空设备——BOC Edwards特有的模块组合系统

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Allister Watson Kirel Tang 汤杰王颖佩

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篇名	用于平板显示制造中的真空设备——BOC Edwards特有的模块组合系统
来源期刊	电子工业专用设备	学科
关键词
年，卷（期）	2006,（12）	所属期刊栏目	企业介绍与新品发布
研究方向		页码范围	68-69
页数	2页	分类号
字数	1591字	语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1004-4507.2006.12.018