非晶金刚石与非晶碳化锗复合增透保护膜系的设计与实现

• 作者: 孟松鹤 朱嘉琦 胡超权 郑伟涛 韩杰才 韩潇
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶金刚石 非晶碳化锗 增透保护膜 光学性能
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 451-454
• 页数: 4页
• 分类号: TB39
• 字数: 2248字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2006.06.013

摘要

为了有效保护硫化锌等红外光学元件并提高其在工作波段的透过率,根据薄膜光学原理进行增透设计,从而获得膜系光学参数;采用射频磁控溅射技术制备非晶碳化锗薄膜,通过调整甲烷流速比调整薄膜的折射率,根据流速比和沉积时间控制膜厚,再用过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜,分别改变衬底偏压和沉积时间控制薄膜的折射率和膜厚.利用光谱椭偏仪和台阶仪表征薄膜折射率和膜厚,通过小角X射线反射和X射线光电子谱测试非晶金刚石薄膜的密度和非晶碳化锗薄膜中的锗含量,使用纳米压痕仪和傅里叶红外透射谱仪确定薄膜的硬度和红外透过率.试验表明,非晶金刚石和非晶碳化锗薄膜的折射率分别与薄膜的密度和薄膜中的锗含量密切相关,非晶金刚石与非晶碳化锗复合膜系是硫化锌等红外光学元件性能优异的增透保护膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑伟涛	吉林大学材料科学与工程学院	48	245	8.0	13.0
2	韩杰才	哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国防科技重点实验室	298	4663	35.0	52.0
3	孟松鹤	哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国防科技重点实验室	137	1793	22.0	36.0
4	朱嘉琦	哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国防科技重点实验室	48	177	7.0	10.0
5	韩潇	哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国防科技重点实验室	7	51	3.0	7.0
6	胡超权	吉林大学材料科学与工程学院	5	15	2.0	3.0