辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断

• 作者: 付亚波 张广秋 张跃飞 王建忠 隗晓云 高原
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 辉光放电 等离子体参数 发射光谱诊断
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 114-117
• 页数: 4页
• 分类号: O53
• 字数: 3115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.02.009

摘要

利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断.实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa～80 Pa和电压500 V～1000 V的变化.并探讨了电子温度随气压和电压变化的原因.结果表明,该放电为典型的反常辉光等离子体放电,电子温度在1 eV～15 eV之间变化,且随工作气压和电压的的升高迅速增大,这与实际观测的放电效果相符合,实验结果表明,发射光谱法是测量离子渗金属中等离子体参数的一种有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张跃飞	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	41	237	9.0	13.0
2	张广秋	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	32	119	6.0	9.0
3	高原	太原理工大学表面工程与技术研究所	64	555	13.0	19.0
4	王建忠	太原理工大学表面工程与技术研究所	21	155	8.0	10.0
5	隗晓云	太原理工大学表面工程与技术研究所	18	135	7.0	10.0
6	付亚波	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	48	172	7.0	10.0