扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制

• 作者: 于欣蕾 卢文娟 张玉林 郝慧娟 魏强
• 来源期刊: 青岛大学学报（工程技术版）
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描隧道显微镜 工作台 压电陶瓷 神经网络
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 自动化工程
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TH742|TP273
• 字数: 3004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9798.2006.02.001

摘要

针对目前扫描隧道显微镜超高精度位移的要求,提出了一种基于神经网络的精密工作台控制方案.在分析微位移机构工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型.神经网络辨识器在线辨识工作台的机械参数,神经网络自学习PID控制器代替传统PID控制器,实现了样本的在线采集,有效克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点.利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变控制器的控制系数,增强了系统的实时控制性能.实验结果表明,相对于传统PID控制算法,参考位移量为10 μm时,达到稳态值的时间从3.8 s缩短到1.8 s,稳态误差从4.2%减小到1.9%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学控制科学与工程学院	56	465	11.0	19.0
2	魏强	山东大学控制科学与工程学院	14	155	7.0	12.0
6	卢文娟	山东大学控制科学与工程学院	7	89	4.0	7.0
7	于欣蕾	山东大学控制科学与工程学院	3	17	2.0	3.0
8	郝慧娟	山东大学控制科学与工程学院	5	49	3.0	5.0