状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究

• 作者: 万江文 于尚民 冯仁剑 吴银锋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS静电驱动 瞬时特性 状态反馈 输入量控制 状态空间
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1337-1339,1343
• 页数: 4页
• 分类号: TN6
• 字数: 2582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.007

摘要

MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响,自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差.利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理.基于状态反馈原则设计了一种输入量控制方法,即根据系统要求指标来配置极点,实现最优控制.仿真实验结果证明,该方法能提高系统的瞬时特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯仁剑	北京邮电大学自动化学院测控与通信微系统研究中心	6	14	2.0	3.0
2	万江文	北京邮电大学自动化学院测控与通信微系统研究中心	13	179	6.0	13.0
3	吴银锋	北京邮电大学自动化学院测控与通信微系统研究中心	6	136	3.0	6.0
4	于尚民	北京邮电大学自动化学院测控与通信微系统研究中心	2	8	2.0	2.0