拟弧长延拓法在静电激励MEMS吸合特性研究中的应用

• 作者: 周慎杰 张龙 梁斌斌 王炳雷
• 来源期刊: 应用数学和力学
• 学科: 物理学
• 关键词: MEMS 吸合特性 奇异点 拟弧长延拓法
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 页码范围: 386-392
• 分类号: O302
• 语种: 中文
• DOI: 10.3879/j.issn.1000-0887.2015.04.006

摘要

在静电激励微机电系统MEMS(micro-electro-mechanical systems)吸合特性研究中,基于应变梯度理论的微梁结构的控制方程是非线性高阶微分方程,给方程的求解带来了困难.由于该问题的数学模型本质上是分叉问题,方程的解支上出现奇异点,而运用局部延拓法无法通过奇异点.因此,通过运用广义微分求积法将控制方程降阶离散,结合拟弧长延拓法使迭代顺利通过奇异点,求出了整个解曲线.结果表明,拟弧长延拓法能有效并准确地求解具有分叉现象的高阶微分方程问题,为精确预测静电激励MEMS的吸合电压提供有力帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周慎杰	山东大学机械工程学院	70	753	16.0	23.0
2	梁斌斌	山东大学工程力学系	2	3	1.0	1.0
3	张龙	山东大学工程力学系	3	5	2.0	2.0