基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究

• 作者: 刘泳宏 赵湛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 生物传感器 介电泳 反应离子刻蚀 NEMS技术
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微流控器件与技术
• 页码范围: 1978-1982
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 4125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.176

摘要

结合信息技术、生物技术与纳米技术的发展,提出一种基于NEMS技术的"三维纳隙网格阵列微电极生物传感器"设计,用于生物样品在蛋白或细胞水平上的介电泳分离和检测.重点针对传感器制作的关键工艺问题,创新性地提出了一种利用反应离子刻蚀侧向钻蚀效应实现纳隙薄金属悬臂梁结构的理论和方法,此方法对电容式生物传感器的制作有普遍的实践意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵湛	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	54	723	10.0	26.0
2	刘泳宏	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	4	16	2.0	4.0