基于光杠杆原理的纳米级微位移测量系统研究

• 作者: 刘晓旻 吴宇 张攀峰 杨国光
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 光杠杆 纳米检测 PSD MEMS
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器及装置
• 页码范围: 61-65
• 页数: 5页
• 分类号: TH742
• 字数: 2942字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2006.02.013

摘要

介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移测量系统.该系统的理论分辨力为4nm,实验测得系统分辨力小于10nm.经过实验,验证了该系统的可行性.实验结果表明,该装置灵敏度及重复性好,结构简单,便于构成微电子机械系统--MEMS(micro electro mechnical systems),实现系统微型化及自动化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国光	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0
2	刘晓旻	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	5	57	4.0	5.0
3	吴宇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	7	216	6.0	7.0
4	张攀峰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	2	34	2.0	2.0