真空装置中的常见污染和清洁处理

• 作者: 陈占杰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 真空装置 污染物 清洁处理
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 新技术研究与应用
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TB75
• 字数: 3471字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.06.016

摘要

主要介绍了真空装置中常见污染的形成、类型以及清洁处理的方法和真空工艺对环境的要求.