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新兴纳米加工技术简介
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摘要：
文章对几种新兴的纳米加工技术的工作原理、特点及应用作了简介.
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研究主题发展历程
节点文献
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纳米结构
纳米压印技术
准分子激光
聚焦离子束
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机电一体化
主办单位：
上海科学技术文献出版社
出版周期：
月刊
ISSN：
1007-080X
CN：
31-1714/TM
开本：
大16开
出版地：
上海市长乐路746号
邮发代号：
4-565
创刊时间：
1995
语种：
chi
出版文献量（篇）
3989
总下载数（次）
13
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