生长温度对类金刚石膜结构和发光性质的影响

• 作者: 李清山 王璟璟 郑学刚 陈达
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 脉冲激光沉积 拉曼光谱 光致发光
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 236-240
• 页数: 5页
• 分类号: TN101.3
• 字数: 3325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2006.03.009

摘要

使用脉冲激光沉积技术制备了系列无氢类金刚石薄膜,测量了样品的Raman光谱、光吸收光谱和光致发光光谱,研究了薄膜结构和光致发光性质与制备条件的依赖关系.结果表明,这种薄膜是由少量sp2键和大量sp3键组成的非晶碳膜.薄膜的光学带隙在1.68～2.46 eV,发光在可见光区呈宽带结构.生长温度能够对类金刚石薄膜的结构和发光性质产生较大影响.当生长温度从室温升高至400 ℃时,sp2团簇的变大使C原子的有序度增强,从而导致薄膜的光学带隙变窄,发光峰红移且半高宽变小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李清山	曲阜师范大学物理工程学院	57	249	9.0	12.0
2	陈达	曲阜师范大学物理工程学院	5	26	2.0	5.0
3	郑学刚	曲阜师范大学物理工程学院	5	26	2.0	5.0
4	王璟璟	曲阜师范大学物理工程学院	4	24	2.0	4.0