基片温度对TiO2薄膜表面形貌和性能的影响

• 作者: 张庆瑜 李长敏 陈敏 黄永刚 黄英
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2薄膜 基片温度 原子力显微镜 表面形貌 表面性能
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 382-385
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.72+4
• 字数: 2336字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2006.03.015

摘要

利用射频磁控溅射设备在玻璃基片上制备TiO2薄膜,采用AFM、UV-Vis分光光度、接触角测定仪等测试手段,研究基片温度对薄膜表面形貌、粗糙度和表面性能的影响.结果表明,随着基片温度增加,薄膜表面粗糙度增大,薄膜中颗粒由无定形态逐渐向定向排列的晶态转变,而薄膜结构、表面形貌和粗糙度的变化明显影响薄膜表面性能.最后,探讨了薄膜的生长机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李长敏	大连轻工业学院材料科学与工程系	17	105	6.0	9.0
2	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理系	92	897	16.0	25.0
3	陈敏	大连轻工业学院材料科学与工程系	13	98	6.0	9.0
4	黄永刚	中国建筑材料科学研究院特种玻璃纤维与光电功能材料研究所	12	74	5.0	8.0
6	黄英	中国建筑材料科学研究院特种玻璃纤维与光电功能材料研究所	7	57	4.0	7.0