神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造

• 作者: 张若昕 裴为华 陈弘达 隋晓红
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电极探针 表面微加工工艺 神经记录
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳制造
• 页码范围: 1404-1406,1410
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 2519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.024

摘要

为了从中枢神经系统记录电信号,半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造.介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程.我们已经制造出15 μm厚,3 mm长,100μm宽的记录用探针,每根探针含有7个记录点,间隔120 μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD),感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等.测试结果给出了探针的强度和阻抗特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈弘达	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	82	341	10.0	13.0
2	裴为华	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	18	73	5.0	8.0
3	隋晓红	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	6	49	5.0	6.0
4	张若昕	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	3	27	3.0	3.0