掺氮二氧化钛薄膜的常压化学气相沉积及其结构性能研究

• 作者: 张溪文 郭玉 韩高荣
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 常压化学气相沉积 掺氮TiO2薄膜 光催化性 亲水性
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 190-194
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3365字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.03.007

摘要

用常压化学气相沉积(APCVD)法,以四氯化钛(TiCl4)、氧气(O2)和氨气(NH3)作为气相反应先驱体,成功制备了掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜.XRD、XPS和UV-Vis透射光谱研究表明,氮掺杂在二氧化钛薄膜中引入TiO2相,抑制了锐钛矿相向金红石相的转变;氮掺杂促使光吸收限红移,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能.该工艺成本低廉,成膜速度快(150 nm/min),适用于工业化浮法玻璃生产线,产业化前景广阔.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩高荣		12	117	6.0	10.0
2	张溪文		3	28	1.0	3.0
3	郭玉		1	26	1.0	1.0