金刚石膜探测器研制

• 作者: 吕反修 唐伟忠 张忠兵 欧阳晓平 王伟 王兰 范如玉 陈广超
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CVD 金刚石薄膜 辐射探测器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 核物理学
• 页码范围: 2170-2174
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2908字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.05.011

摘要

采用直流电弧等离子喷射(DC arc plasma jet)CVD(chemical vapour deposition)工艺制成的金刚石薄膜,研制成功MSM(metal-semiconductor-metal)型CVD金刚石脉冲辐射探测器.对制作的金刚石薄膜材料及探测器有关性能进行了测量,结果表明,采用Raman shift＜4.5cm-1的金刚石薄膜制成的探测器,可满足亚纳秒脉冲辐射探测的要求.由于其独特的物理性能,在制作成本合理的情况下,在脉冲辐射测量中可取代Si-PIN探测器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学功能材料研究所	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学功能材料研究所	106	860	16.0	21.0
3	陈广超	北京科技大学功能材料研究所	27	235	9.0	14.0
4	欧阳晓平	清华大学工程物理系	10	73	6.0	8.0
5	张忠兵		47	186	8.0	11.0
6	王伟		14	84	5.0	9.0
7	范如玉		34	168	7.0	10.0
8	王兰	清华大学工程物理系	15	92	6.0	9.0