新型惯性式压电驱动机构的研究

• 作者: 吴博达 曾平 杨志刚 温建明 程光明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 压电驱动器 微驱动器 惯性 摩擦
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 623-627
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TH703.6
• 字数: 3219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.04.018

摘要

基于控制移动机构和支撑面之间摩擦力的方法,提出了新型惯性冲击式压电陶瓷驱动机构的研究方案.分析了驱动机构的工作原理,驱动电压与驱动力、位移之间的关系,设计、制做了可实现直线往复运动的压电微型驱动器结构,并作了相关的性能测试.实验结果表明,采用简单的对称信号波形能驱动机构运动.直线驱动器最高速度可达1 mm/s,最大步长分辨率为20 nm,最大承载能力为1 000g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	程光明	吉林大学机械工程学院	164	2317	26.0	37.0
3	吴博达	吉林大学机械工程学院	60	830	17.0	25.0
4	曾平	吉林大学机械工程学院	83	1053	18.0	28.0
5	温建明	吉林大学机械工程学院	10	81	4.0	8.0