带透明电极可变形反射镜的研制

• 作者: 向东 王青玲 陈家凤 陈海清
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 自适应光学 变形镜 静电驱动 微机械可变形反射镜(MMDM) 微电子机械系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 849-853
• 页数: 5页
• 分类号: TP211+.6
• 字数: 2107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2006.07.019

摘要

提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜.给出了透明电极、超薄镜面和驱动电极的制作工艺及其工作特性.静态测试结果表明,带透明电极的可变形反射镜驱动电压低,最大变形量可达19 μm,有效反射面积可达200 mm2,能很好地改善整个自适应系统的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海清	华中科技大学光电工程系	95	682	14.0	18.0
2	向东	华中科技大学光电工程系	39	247	10.0	13.0
6	王青玲	中国地质大学地球物理与空间信息学院	12	74	5.0	8.0
7	陈家凤	华中科技大学光电工程系	6	78	5.0	6.0