新型激光驱动可变形反射镜的模型、研制及特性

• 作者: 向东 周丽娜 张光勇 王青玲
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自适应光学 可变形反射镜 光驱动 光学特性
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 269-274
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 字数: 2668字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.02.025

摘要

介绍了一种新型的利用激光驱动的可变形反射镜.它包括三个部分:以聚脂薄膜为主体做成的2μm厚的镜面,支撑镜面的6μm高栅格状的支撑柱,由光敏材料砷化镓(GaAs)构成的感光底层.同时在镜面与感光底层之间施加偏置的高频交流电压.当感光底层背面被激光照亮时,GaAs中载流子的变化导致镜面与感光底层之间电阻的重新分布,从而镜面与感光底层之间电压发生变化,因此在静电力的作用下镜面将会发生相应的形变.文中分析了此反射镜工作的理论模型,介绍了此装置的制作工艺,并通过实验验证了偏置电压幅值、交流电压频率等参数对可变形反射镜性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张光勇	华中科技大学激光国家重点实验室	12	103	6.0	10.0
2	向东	中国地质大学数学与物理学院	39	247	10.0	13.0
6	王青玲	中国地质大学地球物理与空间信息学院	12	74	5.0	8.0
7	周丽娜	中国地质大学数学与物理学院	1	0	0.0	0.0